1. 稱砂配料
按照不同石英坩堝的技術包要求,準備不同型號的石英砂,并稱取相應的重量密封配送至熔融車間對應的機臺備用。該工序需要保證用料準確。
2. 熔融
將石英砂按照技術要求成型至旋轉模具內(nèi)表面,通過電弧高溫熔制成坩堝毛坯。該工席是制作石英坩堝的核心工序,直接決定了石英坩堝的純度、強度、微氣泡密度水平。
3. 噴砂
去除熔制后坩堝毛坯的外層浮砂。通過該工序可以去除石英坩堝外表面粘附的浮砂,防止浮砂影響坩堝的拉晶性能。
4. 外觀及微氣泡檢測
檢測石英坩堝外觀及透明層微氣泡狀態(tài)。通過該工序可以防止外觀不合格的產(chǎn)品流出。
5. 切割
切割系統(tǒng)通過 MES 系統(tǒng)提供的數(shù)據(jù)源,按照客戶規(guī)格對石英坩堝毛坯進行切割。該工序主要用于保證產(chǎn)品滿足客戶對石英坩堝的高度要求。
6. 尺寸檢查
通過傳感器自動檢測石英坩堝外徑、厚度、高度以及重量。通過該工序可以防止尺寸不合格產(chǎn)品流出。
7. 洗凈
通過水洗、酸洗、水洗的工藝順序對坩堝的內(nèi)外表面進行自動刻蝕清洗。該工序可以有效去除石英坩堝內(nèi)外表面雜質是保證石英坩堝純度的重要手段。
8. 千燥
對洗凈后的石英坩堝進行干燥,去除水分。
9. 冷涂
噴涂系統(tǒng)根據(jù)產(chǎn)品圖號,調(diào)取相應的噴涂工藝,通過機器人手臂對石英坩堝內(nèi)表面噴涂,制作鋇涂層。該工序是涂層坩堝制作涂層的核心工序,能保證坩堝使用過程中形成均勻的析晶層,提升坩堝的長晶性能。
10. 終檢
坩堝出貨前的檢查,主要檢查坩堝外觀,防止不合格品流出。
11. 包裝
對成品石英坩堝進行自動包裝,等待發(fā)貨。
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