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在硅片的生產(chǎn)工序中，石英舟起到了重要的承載作用，尤其是在高溫環(huán)境的各個(gè)工序中，石英舟甚至起到了不可替代的作用，石英舟一般都只能針對(duì)固定型號(hào)的硅片使用，不同的硅片配備不同的石英舟，在生產(chǎn)工序中需要不斷的進(jìn)行替換。
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