相關執(zhí)行標準：

半導體用透明石英玻璃棒  JC/T 2064-2011

本標準規(guī)定了半導體用透明石英玻璃棒(以下簡稱石英玻璃棒)的術語和定義、分類和標記、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和貯存等。 本標準適用于半導體行業(yè)生產(chǎn)中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化學工業(yè)用透明石英玻璃棒也可參照本標準執(zhí)行。

石英玻璃棒一般用于制作半導體和光伏行業(yè)中分批式工藝所需的部件；如石英舟、硅片載體及基座等。 氣泡含量低、純度高和嚴苛的尺寸公差是這些熔融石英棒的重要特性。

熔融石英棒可以滿足分批式燒制爐部件對尺寸和外觀的嚴苛要求。