石英中的眾多元素影響了石英的品質(zhì)。在半導(dǎo)體用石英玻璃和光導(dǎo)纖維中,微量的鋁會(huì)促進(jìn)光導(dǎo)石英玻璃纖維析晶,鋁和硼結(jié)合增強(qiáng)石英玻璃的析晶作用。重金屬和擴(kuò)散系數(shù)大的鈉、鈣、鉀等堿金屬能降低半導(dǎo)體的使用壽命,影響石英玻璃的熱學(xué)特性和光學(xué)特性,降低石英玻璃的使用溫度,增大石英玻璃的介電系數(shù)和介電損失,降低石英玻璃的機(jī)械強(qiáng)度和光的傳播速度等。 常見石英中有害雜質(zhì)元素如下:鋁Al 硼B(yǎng) 鈣Ca 鉻Cr 銅Cu 鐵Fe 鉀K 鋰Li 鎂Mg 錳Mn 鈉Na 鈦Ti.
鋁Al | 硼B(yǎng) | 鈣Ca | 鉻Cr | 銅Cu | 鐵Fe | 鉀K | 鋰Li | 鎂Mg | 錳Mn | 鈉Na | 鈦Ti |
16 | 0.8 | 0.8 | 0.1 | 0.1 | 1.2 | 2 | 0.5 | 0.4 | 0.1 | 2.3 | 0.1 |
超純原料要求盡力處理雜質(zhì)至如下指標(biāo):單位( ppm )
鋁Al | 硼B(yǎng) | 鈣Ca | 鉻Cr | 銅Cu | 鐵Fe | 鉀K | 鋰Li | 鎂Mg | 錳Mn | 鈉Na | 鎳Ni |
8 | 0.1 | 0.5 | 0.05 | 0.05 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.05 | 0.05 | 0.1 | 0.05 |
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