石英玻璃的結構十分松弛，甚至在高溫下還允許某些氣體的離子通過網(wǎng)絡進行擴散，其中以鈉離子的擴散為最快。石英玻璃的這一性能對于使用者尤為重要，例如，半導體工業(yè)用石英玻璃作為高溫容器或擴散管時，由于半導體材料要求很高的純度，所以要求與石英玻璃接觸的作為爐襯的耐火材料必須預先經(jīng)過高溫和清潔處理，除掉鉀、鈉等堿性雜質，然后才能放入石英玻璃內使用。各種離子在石英玻璃中的擴散系數(shù)見表3

表3 各種離子在石英玻璃中的擴散系數(shù)

                透明石英玻璃 合成石英玻璃

Na+             2×10-4         5×10-5

Ca2+           2×10-8

Al3+             <10-12         <10-12

Ag+             10-5             10-7

注：

1.在1100℃下的擴散系數(shù)

2.單位：厘米2/秒