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純度是石英玻璃的重要指標(biāo)，對理化性能和使用性能影響甚大，如失透性、高溫、強度、軟化點、光的傳導(dǎo)、熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、耐輻射性、熒光特性等；此外，用于半導(dǎo)體工業(yè)的石英玻璃，對純度的要求更為苛刻，微量的雜質(zhì)將給半導(dǎo)體材料的電性能和壽命以及集成度帶來嚴(yán)重的影響。由于半導(dǎo)體材料的純度要求控制在ppb數(shù)量級以下，因此石英玻璃則應(yīng)控制在PPm數(shù)量級以適應(yīng)半導(dǎo)體工業(yè)的需要。B的分凝系數(shù)近于1,最難除掉，是最有害的雜質(zhì)之一，Cu、Fe、Ti等影響半導(dǎo)體的少子壽命，K、Na、Li是單晶材料產(chǎn)生微缺陷的有害雜質(zhì)。
名稱 | Al | Fe | Ca | Mg | Ti | Cu | Mn | Ni |
電熔石英玻璃 | 32 | 2.0 | 1.5 | 1.5 | 2.08 | 0.2 | 0.27 | 0.2 |
氣煉石英玻璃 | 16 | 0.92 | 1.5 | 0.4 | 1.0 | 0.01 | 0.05 | <0.3 |
電弧石英玻璃 | 10.4 | 0.3 | 0.6 | 0.3 | 1.35 | 0.05 | <0.05 | <0.3 |
合成高純石英玻璃 | 0.37 | 0.31 | 0.27 | 0.04 | 0.03 | 0.03 | 0.01 | <0.03 |
紅外光學(xué)石英玻璃 | 35 | 1.45 | 2.68 | 1.32 | 1.06 | 0.22 | 0.07 | <0.03 |
紫外光學(xué)石英玻璃 | 3.9 | 0.4 | 3.5 | 1.2 | 0.45 | 0.1 | 0.02 | 0.06 |
不透明石英玻璃 | 56 | 7.4 | 15.3 | 1.57 | 1.5 | 0.2 | 0.1 | - |
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