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石英玻璃的純度主要取決與原料，用四氯化硅等高純?cè)仙a(chǎn)的石英玻璃純度可以達(dá)到6個(gè)9（99.9999%）；用提純的優(yōu)質(zhì)天然石英生產(chǎn)的石英玻璃純度可以達(dá)到4個(gè)9，用于半導(dǎo)體工業(yè)；用優(yōu)質(zhì)天然石英生產(chǎn)的普通石英玻璃純度在3個(gè)9左右。
石英玻璃分析雜質(zhì)含量水平（單位：ppm）
| Li | Na | K | Fe | Al | Ca | Mg | Cu | Co | Mn | Ni | OH | |
| 氣煉石英玻璃 | 0.55 | 1.8 | 1.5 | 0.55 | 18 | 2.6 | 0.65 | 0.25 | 0.02 | 0.05 | 0.03 | 160 |
| 連熔石英玻璃 | 2.02 | 4.4 | 1.2 | 2.2 | 22 | 3.7 | 0.53 | 0.04 | 0.04 | 0.05 | 0.04 | 150 |
| 合成石英玻璃 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.1 | <0.3 | <0.1 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 1200 |
典型雜質(zhì)含量分析（單位：ppm）
| Al | B | Ca | Co | Cu | Fe | K | Li | Mg | Mn | Ni | Ti | OH |
| 15 | 0.2 | 2 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 2 | 2 | 0.5 | 0.5 | 2 | 130-200 |
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