由于石英玻璃網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中有很多不規(guī)則的空隙，使許多氣體有可能進(jìn)行擴(kuò)散和滲透，特點(diǎn)是原子直徑比較小的氣體如氦、氖、氫等在石英玻璃中滲透性比較大，而氮、氧等原子比較大,活度比較小的氣體，即使在600-700oC溫度下，在石英玻璃中滲透擴(kuò)散是較低的，故石英玻璃可作10-5-10-6mmHg負(fù)壓和加熱情況下的操作器皿，可用在高溫真空設(shè)備中。